Application

Linear Ion Source는 긴 직선 형태로 이온빔(Ion Beam)을 생성하여 기판 표면에 조사(irradiation)하는 장치입니다.

The Linear Ion Source is a device that generates an ion beam in a long, linear shape and irradiates it onto the substrate surface.

线性离子源（Linear Ion Source）是一种装置，可产生长直线形离子束并照射到基板表面。